真空燒結(jié)爐是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。它具有設(shè)計(jì)新穎、操作方便、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。它可以在一臺(tái)設(shè)備上完成多個(gè)工藝流程。在真空燒結(jié)爐使用中遇到以下三種情況可以采取的應(yīng)急措施。
一、停電
1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。
二、加熱電源掉電
1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體停止
1、抽真空開始前，氣體充入時(shí)間長或者無法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。
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