目前，隨著航天、航空、軍工、核電、能源、化工等領(lǐng)域的不斷發(fā)展，
小型真空爐已成為常見(jiàn)的真空加熱設(shè)備。它利用真空系統(tǒng)排出爐腔內(nèi)的部分物質(zhì)，使?fàn)t腔內(nèi)的壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，達(dá)到真空狀態(tài)。小型真空爐的真空系統(tǒng)一般由真空泵，真空閥門(mén)，測(cè)量?jī)x器，管道等組成。它的真空度一般分為三類(lèi)：
真空度低：一般采用機(jī)械泵作為主泵，真空度為1×105~3×103Pa。
中真空：真空爐一般由兩級(jí)真空泵組成，真空度為3×103~1×10×1Pa。初級(jí)泵多采用機(jī)械泵，主泵為羅茨泵或油增壓泵。
高真空：真空度為1×10−1~1×10−7Pa，通常由3級(jí)真空泵構(gòu)成。主泵為機(jī)械泵，前級(jí)泵為機(jī)械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)要求，不同的工件處理工藝，真空爐的真空度要求不同：
1、真空淬火熱處理可選用中空真空爐（一般極限真空度為4X10-1Pa)，采用機(jī)械泵和羅茨泵結(jié)構(gòu)。例如真空熱處理軸承鋼，模具鋼，結(jié)構(gòu)鋼等。
2.高溫合金、鈦合金、磁性材料、真空釬焊等需要高真空度的真空爐（一般要求真空爐的極限真空度為10~4Pa）
3.對(duì)于真空燒結(jié)，或真空燒結(jié)需要通電保護(hù)氣氛，一般情況下10Pa的低真空度即可。
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